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质量流量控制系统:双通道质量流量控制系统

责任编辑:未知 发布时间:2020-06-28  点击数:  

多路质量流量计控制系统是由洛阳西格马高温电炉生产的多路质量流量计混气系统,多路质量流量计控制系统的质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜*大可以承重1000Lbs,可与大多数管式炉配套使用时,可将管式炉放置于移动柜上,用作芦台,以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一个7寸触摸屏上,同时可以实时查看气体流量曲线和数据。

多路质量流量计控制系统系列有三路质量流量计控制系统、四路质量流量计控制系统、五路质量流量计控制系统。

此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。

多路质量流量计控制系统技术参数

名称

双通道

三通道

四通道

五通道

质量流量控制器

工作温度:5~45ºC
*大压力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
线性:±(0.5-1.5)%F.S

重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

工作温度:5~45 ºC
*大压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±(0.5-1.5)%F.S
重复精度:±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

工作温度:5~45 ºC
*大压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±(0.5-1.5)%F.S.

重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

工作温度: 5~45 ºC
*大压力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
线性:±(0.5-1.5)%F.S.
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客户要求定制

PLC触摸屏

各通道的气路设定和查看都集中在一个7"的触摸屏上 

RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上,进行远程控制

机械压力表

有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接

量程:-0.1~0.15 MPa 

针阀

316 不锈钢

通气管道

内部连接管道为Φ不锈钢管 

外部通气管道为Φ聚四氟管

混气罐

Φ80X120mm

截止阀及配件

·316不锈钢针阀 

 Φ6mm 不锈钢管

外形尺寸

 600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)

输入电源

     AC 220V/50Hz单相

功率

     23W

质量认证

CE认证

质保期

一年质保期,终身维护

 

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